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一、仪器用途
X射线光电子能谱仪（XPS）主要用于材料表面及近表层（通常为数纳米范围）的元素组成和化学状态分析。该仪器可进行元素定性与定量分析，并可通过高分辨能谱研究元素的化学键合状态、价态变化及表面化学环境，结合离子刻蚀技术，还可开展样品成分随深度变化的分析，实现材料表面及界面结构的深度剖析，广泛应用于新能源材料、催化材料、半导体、功能材料及表面科学等领域。设备配备了UPS、双阳极靶 X-ray 源(Zr/Mg)、样品真空/惰性气氛转移装置。
二、主要技术参数
1. 能量分辨率：对Ag3d5/2峰，半峰宽（FWHM）≤ 0.48 eV。
2. 微区分析（X射线束斑≤10 ?m）能量分辨率和灵敏度：对Ag3d5/2峰，能量分辨≤0.6 eV时，计数率强度≥50 Kcps，分析功率小于1.3W。
3. 单色化X射线源系统：Al Kα单色化X射线源，X射线源可聚焦及扫描。最小获谱束斑≤ 5.0 ?m，可采谱，成像和深度剖析。
4. SXI二次电子成像精准定位系统：SXI空间分辨率：≤ 5.0 ?m；可以对XPS分析样品实现定位零误差。
5. 氩单原子离子枪：能量范围：0 ~ 5 keV连续可调。
6. 氩气团簇离子枪（GCIB）：束流：≥20 nA @ 20 keV。
7. 紫外光电子能谱（UPS）：灵敏度和能量分辨率： He I 灵敏度@Ag 4d ≥3 Mcps；能量分辨率≤100 meV。
8. 双阳极靶 X-ray 源(Zr/Mg)：Mg阳极对于Ag 3d5/2 灵敏度≥1.5 Mcps@ 1.40 eV。
9. 样品真空/惰性气体保护转移台。
三、预约及样品说明
请务必保证样品满足以下要求：
□样品已经过真空干燥处理；
□样品在真空和高真空下不易挥发；
□样品不含腐蚀性物质；
□样品不含磁性物质；
□样品不含放射性物质；
□样品不含结晶水，且样品本身不具有吸水性；
□样品不含硫单质或碘单质；
□样品非易燃易爆品；
如样品违反本实验室相关规定，对仪器本身和实验室造成损害概由送样人负责。
送样前请确认好样品性质，对于送样单上的要求务必仔细阅读，确保所送样品符合本实验室规定，尤其是带磁性和在真空和超高真空下易挥发的样品！若有此类样品需要做XPS测试，请务必告知本实验室老师，确认是否能够进行XPS测试。
